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針對超高真空互聯(lián)應用領(lǐng)域進行專業(yè)設計；

自動化程度高：可實現(xiàn)全自動控制樣品傳送；

位置重復性好：位置重復誤差小于0.2mm；

傳樣機械臂在腔體內(nèi)可360°旋轉(zhuǎn)；

整體耐高溫：工作溫度大于150℃；



圓形樣品傳樣腔