簡(jiǎn)單經(jīng)濟(jì)的小型MBE設(shè)備,針對(duì)對(duì)本底真空需求不高的應(yīng)用場(chǎng)景,可以快速的進(jìn)出樣品。適合分子蒸鍍和簡(jiǎn)單的熱蒸發(fā)。和熱蒸發(fā)設(shè)備相比,其具有薄膜厚度控制更,蒸發(fā)源溫度對(duì)襯底影響低,實(shí)驗(yàn)重復(fù)性好等特點(diǎn)。設(shè)備所有技術(shù)兼容超高真空需求,后期可以方便升級(jí)至超高真空MBE系統(tǒng)。
△ 可定制功能:
● 腔體結(jié)構(gòu)、傳樣機(jī)構(gòu)、泵組及其品牌型號(hào)
● 樣品尺寸及其加熱方式
● 蒸發(fā)源口徑、溫度、加熱方式和數(shù)量
● 可擴(kuò)展反射式高能電子衍射儀、紅外測(cè)溫儀、膜厚儀等
● 程序控制功能
● 腔體可做無(wú)磁處理
簡(jiǎn)易分子束外延生長(zhǎng)系統(tǒng)(Easy MBE)