（1）窒息

MBE外延設(shè)備要在超高真空條件下工作，需要使用氮氣源吹掃置換；噴射爐的爐口需使用液氮進行屏蔽。在現(xiàn)場設(shè)置氮氣/液氮鋼瓶或者通過管道輸送氮氣/液氮，如果氮氣瓶安全附件不齊全或有缺陷，氮氣/液氮管道的閥門、零件等腐蝕或存在缺陷，可能發(fā)生氣瓶或管道的泄漏，如果作業(yè)場所通風(fēng)不良，人員防護不當(dāng)，會引發(fā)人員窒息事故。

（2）灼燙

MBE外延設(shè)備噴射爐的爐口需使用液氮進行屏蔽，在現(xiàn)場設(shè)置液氮鋼瓶或者通過管道輸送液氮，如果液氮鋼瓶/液氮管道的閥門、零件等腐蝕或存在缺陷，可能發(fā)生氣瓶或管道的泄漏，人員防護不當(dāng)，發(fā)生低溫灼燙事故。

MBE外延設(shè)備屬于高溫設(shè)備，如果設(shè)備本身未采取防護隔離措施，人員防護不當(dāng)，可能發(fā)生灼燙事故。

（3）爆炸（含容器爆炸）

該工藝需使用冷卻水進行設(shè)備保冷，如果冷卻水供應(yīng)不足，在高溫下，可能發(fā)生設(shè)備爆炸。氮氣源使用氣瓶的情況下，氣瓶安全附件不齊全、氣瓶本體有缺陷、未設(shè)防倒設(shè)施等情況，可能造成氣瓶爆炸。

（4）觸電

直接接觸裸露帶電零件或在故障條件下變?yōu)閹щ姷牧慵?，尤其是絕緣失效而導(dǎo)致的帶電零件，可能造成的電擊、電灼傷等危險。